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这种情况比较复杂，因为周围气体介质即使稍微漏入真空腔内，也会使其真空度降低。如果漏入了腐蚀性气体,真空设备就可能损坏。在很多情况下，真空度和真空空间的洁净，对真空条件下进行的各种工艺过程的质量有决定性的影响。

　　真空器件所使用的机械密封在结构上并无特殊之处。对于上述的一种情况，通常是采用气密性好的金属波纹营型单端面机械密封。第二种情况则要用双端面机械密封，若使用单端面密封，势必存在密封端面不能获得润滑的问题。

密封面内圆柱面上的伤痕很可能是外面的杂物进入密封面或安装不当造成的。密封面上的环形沟槽，多数是固体微粒沉积于密封面而引起的。

石墨环（动环）的裂纹是由于传动件的振动，橡胶圈的涨大以及石墨环本身的内应力造成的，而结焦则是因高温所致，这在炼油厂的高温热油介质中是常见的。

在理论分析方面，主要基于CFD进行计算机模拟试验，研究问题集中在T型槽干气密封端面压力场分布规律、工作参数、几何参数对密封性能影响等方面。受交变应力作用的弹簧受腐蚀是它的首要问题，因为金属在应力作用下会迅速腐蚀，不绣弹簧易受氯化物的应力腐蚀，且世界上存在许多的氯化物，所以有国外部门建议，不要使用不锈弹簧，而推荐使用耐蚀性较高的哈斯特合金钢的弹簧。终结果皆表明T 型槽能产生较好的流体动压效果。2009年，Zhu等就工作参数和几何参数进行了详细的讨论，得到了选择工作参数和几何参数的一般原则：槽数应在12～16之间，槽深应在4 ～ 6μm之间，平衡间隙应在0.8 ～ 14 μm 之间。

对于机械设备密封性的检查主要有以下几点：

（1）安装机械密封部位的轴(或轴套)的径向跳动允差，轴(或轴套)的表面光洁度和外径尺寸公差。

（2）密封腔和压盖结合***端面对轴(或轴套)中心线垂直度允差。

（3）安装动环密封圈的轴(或轴套)的端部，安装机械密封的壳体孔的端部结构之倒角和光洁度。

（4）机械密封之转轴工作时的轴向位移量。

（5）安装机械密封过程中，应保持清洁，且不允许用工具敲打密封元件，以防损伤和***。